在精密光学制造与前沿半导体光刻领域,对紫外光波前质量的精准测量是确保系统性能的核心。上海兮锘光学代理的法国Phasics公司的SID4-UV紫外波前分析仪,以其独特的四波剪切干涉技术与卓越的紫外波段探测能力,为高要求的紫外光学测量树立了全新的行业标杆,成为表征紫外激光与检测光学元件面型的强大工具。
紫外波前分析仪的核心优势建立在革新的测量原理与顶尖的性能参数之上。它摒弃了传统干涉仪对精密参考镜的依赖,采用稳健的四波剪切干涉技术,仅通过单次拍摄便能同时获取高分辨率的相位与强度信息。这一原理赋予了它强大的环境抗干扰能力和操作便捷性。在性能上,SID4-UV专为紫外光谱优化,工作波段在190 - 400 nm,满足了深紫外测量的苛刻需求。其拥有高达355 x 355的超高相位采样分辨率,配合2 nm RMS的极高相位灵敏度,能够洞察极细微的波前畸变。同时,它支持非准直光直接入射,消除了搭建复杂准直光路的麻烦,极大地提升了测量效率与集成灵活性。
波前传感器代理厂家探索SID4-UV紫外波前传感器的性能与应用 编辑
凭借这些技术特性,SID4-UV波前分析仪在多个高端领域发挥着不可替代的作用。在半导体产业中,它是进行光刻机用紫外激光光束质量全面诊断(包括波前像差、M²因子等)以及晶圆表面面型无损检测的关键设备。在光学制造与检测环节,它能够快速、精确地测量透镜等元件的透射波前误差与调制传递函数,为质量控制提供可靠数据。此外,在自适应光学系统调试与等离子体物理研究等领域,它同样是进行高分辨率波前传感的理想选择。
法国Phasics公司的SID4-UV紫外波前分析仪不仅仅是一台测量仪器,更是推动紫外光学技术向更高精度发展的赋能引擎。它将高分辨率、高灵敏度与操作简便性融为一体,有效解决了从研发到生产过程中对紫外光场进行精准、快速表征的挑战,是高端光学和微电子工业中值得信赖的精密测量解决方案。
上海兮锘光学有限公司是法国Phasics公司在中国的官方代理,负责其SID4系列波前传感器在中国的推广、销售与技术支持。我们致力于将这一覆盖深紫外到远红外的全波段、高精度光学测量解决方案带给国内的科研机构与先进制造企业,帮助客户在光学设计、系统集成与质量检测中实现精准测量与性能突破。如您有波前测量或相关光电产品需求,欢迎联系兮锘光学。