专注半导体离子注入机研发，烁科中科信完成超7亿元B轮融资
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2025-12-26 12:08:51
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投资界12月26日消息，据企查查官网，北京烁科中科信电子装备有限公司（以下简称“烁科中科信”）完成超7亿元B轮融资，由国新基金所属国风投（北京）智造转型升级基金领投。
烁科中科信成立于2019年，由中国电科48所与北京中科信离子注入业务战略整合组建，是我国半导体离子注入装备领域的龙头企业。公司完整覆盖28nm工艺制程设备，并与行业头部客户深度合作，持续开展先进制程设备的研发工作，构建了涵盖中束流、大束流、高能机、特种及化合物半导体等系列化离子注入机产品体系，累计出货设备超过百台。
烁科中科信主要负责人表示：“高端芯片技术与先进制程半导体设备一直是技术封锁对象。离子注入机作为前道工艺中的关键装备，其先进制程的国产化突破至今尚未实现，是当前亟待攻克的‘硬骨头’。我们专注于攻克半导体离子注入装备关键技术瓶颈，解决国家集成电路制造核心装备‘卡脖子’问题。感谢国新基金及其他专业投资机构的信任与支持，未来，我们将携手各方，共同推动国产离子注入机的科技成果转化与产业化进程。”
国新基金相关投资部门负责人表示：“离子注入机是半导体前道关键装备，技术壁垒极高。烁科中科信在科技部长期支持下，是国内该领域重要的先行者，拥有超过二十年的技术积淀与产品迭代经验。公司不仅实现了成熟制程产品的全谱系覆盖，更在先进制程上取得突破，填补了国内空白，部分关键指标已达到国际一流水平，并获得了下游头部客户的广泛认可，未来发展空间广阔。”
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