华茂电气申请节能型半导体预氧化处理设备专利，降低整体能耗
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2025-12-29 12:38:05
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国家知识产权局信息显示，常州华茂电气科技有限公司申请一项名为“一种节能型半导体预氧化处理设备”的专利，公开号CN121215567A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种节能型半导体预氧化处理设备，涉及半导体加工技术领域。一种节能型半导体预氧化处理设备，包括底座，还包括：设置在底座上的循环定轨组件；所述底座上设有加工管道，所述加工管道包括预热部、反应部和干燥部；所述循环定轨组件上滑动连接有安装盘，所述安装盘上设置有活动夹爪和固定夹爪，其中，所述活动夹爪上设有两组相对错位设置的防滑夹套一，所述固定夹爪上镜像对称的布置有防滑夹套二和防滑夹套三；本发明能够实现半导体材料在预热阶段自动调整间距，避免传统固定间距导致的能量浪费，降低整体能耗。
天眼查资料显示，常州华茂电气科技有限公司，成立于2024年，位于常州市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本3万人民币。通过天眼查大数据分析，常州华茂电气科技有限公司专利信息5条。
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来源：市场资讯
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