德州仪器申请用于传感器中铜表面的保护性涂层专利，提供腐蚀阻隔层以增强铜结构耐久性
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2025-12-29 15:08:23
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国家知识产权局信息显示，德州仪器公司申请一项名为“用于传感器中的铜表面的保护性涂层”的专利，公开号CN121219446A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明提供一种微电子装置(100)，其包含在电子组件(104)上方的铜结构(106)。所述铜结构(106)包含具有大于1微米的平均晶粒尺寸的铜。所述铜结构(106)具有腐蚀阻隔层(114)，所述腐蚀阻隔层(114)主要包含直接在所述铜上的氧化亚铜。所述腐蚀阻隔层(114)暴露在外表面(116)处。所述微电子装置(100)通过在所述微电子装置(100)的衬底(102)上方镀覆铜而形成。在非还原环境中在125℃至200℃的温度下将具有所述腐蚀阻隔层(114)的所述铜结构(106)退火。
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来源：市场资讯
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