思锐智能申请用于静电卡盘电源的驱动控制电路专利，提高静电卡盘电源输出稳定性
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2025-12-31 14:38:15
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国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种用于静电卡盘电源的驱动控制电路、静电卡盘电源”的专利，公开号CN121237718A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本申请提供了一种用于静电卡盘电源的驱动控制电路、静电卡盘电源，通过在静电卡盘电源中设置本申请提供的驱动控制电路，可通过该信号产生及处理反馈电路获取高压放大电路的高压输出电压信号，并按照负反馈调节机制，调整控制高压放大电路输出高压输出电压信号的电源波形控制信号，调整高压放大电路输出的高压输出电压信号输出，以实现控制静电卡盘电源输出高压输出电压信号的信号精度的效果，进而提高静电卡盘电源输出稳定性，以保障静电卡盘产生的静电场的稳定性，确保静电卡盘固定晶圆的工艺精度。
天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本135298.7908万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目75次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息168条，此外企业还拥有行政许可25个。
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来源：市场资讯
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