其芒光电申请晶圆真空镀膜设备专利，大大提高生产效率
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2026-01-07 11:09:10
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国家知识产权局信息显示，安徽其芒光电科技有限公司申请一项名为“一种晶圆真空镀膜设备”的专利，公开号CN121272366A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本申请公开一种晶圆真空镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域，包括镀膜腔、传送腔、以及至少两个冷却腔。镀膜腔包括第一壳体、支撑板、承载块、靶材、第一驱动件和第二驱动件；支撑板设置于第一壳体内；多个承载块可移动地设置于支撑板下方；靶材固定设置于第一壳体内；靶材位于承载块下方；第一驱动件与支撑板相连；第二驱动件能与承载块接触；第一壳体包括直于第一方向的两个第一侧板；传送腔包括第二壳体和设置于第二壳体内的机械手；第二壳体包括直于第一方向的第二侧板，第一壳体中与第二侧板相邻的一个第一侧板设有第一开口，第二侧板设有第二开口；冷却腔和传送腔之间设有闸阀。该晶圆真空镀膜设备能实现晶圆的连续镀膜，大大提高生产效率。
天眼查资料显示，安徽其芒光电科技有限公司，成立于2021年，位于合肥市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1844.5867万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽其芒光电科技有限公司参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息32条，此外企业还拥有行政许可3个。
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来源：市场资讯
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