汇成光电取得减少蚀刻药液气泡的蚀刻槽结构专利，气泡减少率≥90%
创始人
2026-02-05 13:43:52
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国家知识产权局信息显示，江苏汇成光电有限公司取得一项名为“一种减少蚀刻药液气泡的蚀刻槽结构”的专利，授权公告号CN223872712U，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种减少蚀刻药液气泡的蚀刻槽结构。包括外槽墙壁和内槽墙壁，外槽墙壁与内槽墙壁之间为外槽，内槽墙壁内部的空间为内槽，外槽上方设有外槽导流板且外槽导流板与内槽墙壁连接，外槽导流板与内槽墙壁之间形成一个角度为锐角的夹角；内槽中设有内槽导流板且内槽导流板位于内槽入口上方，内槽导流板上设有通孔若干。外槽导流板以60°‑75°锐角引导气泡集中排出，内槽导流板通过大孔径交错通孔分散药液并延长药液路程，在保持药液流速0.8‑1.5m/s的前提下，气泡减少率≥90％。且导流板采用不锈钢材质，不会被蚀刻药液腐蚀，适用于高精度半导体湿法蚀刻工艺的大规模工业化应用。
天眼查资料显示，江苏汇成光电有限公司，成立于2011年，位于扬州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本86164.02万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏汇成光电有限公司参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息464条，此外企业还拥有行政许可67个。
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来源：市场资讯
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