苏州智程半导体科技申请半导体制造用混液装置专利,确保混合药液特性与混液精度
创始人
2026-03-02 15:43:58
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国家知识产权局信息显示,苏州智程半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种半导体制造用混液装置”的专利,公开号CN121571032A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明提供了一种半导体制造用混液装置,包括:操作柜,混液罐以及惰性气体供给组件;操作柜内部形成第一密闭空腔,混液罐设置于第一密闭空腔内并用于混合药液,惰性气体供给组件用于向第一密闭空腔内持续注入惰性气体,使第一密闭空腔内充盈惰性气体。本发明所揭示的半导体制造用混液装置,实现了避免操作柜内部的空气、水分或杂质颗粒污染混液装置内部的药液,确保混合药液特性与混液精度。

天眼查资料显示,苏州智程半导体科技股份有限公司,成立于2009年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本7689.6547万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州智程半导体科技股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目155次,财产线索方面有商标信息13条,专利信息242条,此外企业还拥有行政许可6个。

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来源:市场资讯

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