荣芯半导体申请图像传感器传输栅介质层结构及其制作方法专利,有助于改善栅介质层的质量
创始人
2026-03-11 15:15:56
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国家知识产权局信息显示,荣芯半导体(宁波)有限公司申请一项名为“图像传感器传输栅介质层结构及其制作方法”的专利,公开号CN121646029A,申请日期为2026年2月。

专利摘要显示,本申请提供一种图像传感器传输栅介质层结构及其制作方法,结构包括依次层叠的第一栅介质层、第二栅介质层与第三栅介质层,其中第一栅介质层为氧化层,第二栅介质层为含氮元素的氧化层,第三栅介质层为氧化层或高介电常数材料层;从下至上第二栅介质层中氮元素的含量逐渐升高。本申请中第一栅介质层与衬底表面直接接触,以保证界面质量,第二栅介质层中氮元素的含量由下至上递增,形成应力梯度,有助于改善栅介质层的质量,减少界面陷阱,降低漏电流和界面缺陷密度,第三栅介质层用于提供整体绝缘并改善可靠性,第一栅介质层、第二栅介质层与第三栅介质层相结合,既保证栅介质层结构的质量与绝缘性能,还降低漏电流和界面缺陷密度,提高可靠性。

天眼查资料显示,荣芯半导体(宁波)有限公司,成立于2021年,位于宁波市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本41452.2292万人民币。通过天眼查大数据分析,荣芯半导体(宁波)有限公司共对外投资了6家企业,财产线索方面有商标信息15条,专利信息103条。

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来源:市场资讯

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