创微微电子取得兼容式晶圆翻转夹持系统夹具专利，可夹持晶圆
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2026-03-23 19:05:26
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国家知识产权局信息显示，创微微电子（常州）有限公司取得一项名为“兼容式晶圆翻转夹持系统夹具”的专利，授权公告号CN224022228U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本实用新型属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种兼容式晶圆翻转夹持系统夹具，本夹具包括：检测器，设置在固定板上，且检测晶圆放置位是否存放晶圆；夹持机构，包括驱动装置，由驱动装置驱动的且上下设置的一对夹持台阶；其中两夹持台阶的近端设置在固定板上，远端设置有一对晶圆夹持臂；以及，控制模块，与驱动装置和检测器电性连接，且被配置为接收检测器的晶圆存放信号后，控制驱动装置驱动两夹持台阶带动晶圆夹持臂合拢以夹持晶圆。
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