安徽凌光红外科技申请可调焦激光扫描的激光诱导电阻变化定位装置专利，解决现有晶圆激光电阻检测设备对焦适配性差的问题_电池知识

安徽凌光红外科技申请可调焦激光扫描的激光诱导电阻变化定位装置专利，解决现有晶圆激光电阻检测设备对焦适配性差的问题

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2026-06-20 01:21:03

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国家知识产权局信息显示，安徽凌光红外科技有限公司申请一项名为“可调焦激光扫描的激光诱导电阻变化定位装置”的专利，公开号CN122238431A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体晶圆缺陷检测技术领域，具体的说是可调焦激光扫描的激光诱导电阻变化定位装置，包括激光扫描模块，用于输出红外激光束并对晶圆表面进行二维扫描；承载模块，同轴设置于激光扫描模块下方，包含环形真空吸附单元和可拆卸同心限位单元；所述环形真空吸附单元仅吸附晶圆边缘，使中部检测区空置，允许激光无遮挡扫描；所述可拆卸同心限位单元与吸附单元同轴配合，限制晶圆径向偏移；光热隔离支撑模块设于吸附单元底部，由高绝缘、低反射、高导热材料制成，以抑制底部杂散光并稳定温度场，本发明解决现有晶圆激光电阻检测设备对焦适配性差、检测区域遮挡、光热干扰大、多晶圆适配难及粉尘干扰检测精度的问题。

天眼查资料显示，安徽凌光红外科技有限公司，成立于2021年，位于合肥市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本535.5151万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽凌光红外科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目21次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息21条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业投资激光吸附对焦检测凌光电阻模块红外晶圆安徽

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