国家知识产权局信息显示,TDK电子股份有限公司申请一项名为“微机电反射镜,运行微机电反射镜的方法,投影设备和制造微机械反射镜的方法”的专利,公开号CN122249757A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本发明涉及一种微机电反射镜(1),其具有反射镜元件(2),所述反射镜元件具有平坦的上侧(21)和与平坦的上侧(21)相对设置的下侧(22),其中反射镜元件(2)具有支撑结构(4),所述支撑结构设置在所述反射镜元件(2)的下侧(22)上。其他方面涉及一种用于运行微机电反射镜的方法,一种投影设备和一种用于制造微机械反射镜的方法。
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