富创精密获得实用新型专利授权：“一种低成本的不锈钢半导体加热盘结构”_电池知识

富创精密获得实用新型专利授权：“一种低成本的不锈钢半导体加热盘结构”

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2026-06-23 07:39:29

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示富创精密（688409）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种低成本的不锈钢半导体加热盘结构”，专利申请号为CN202521283869.1，授权日为2026年6月23日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体是一种低成本的不锈钢半导体加热盘结构，包括盖板、基座、电加热器和shaft柱，所述基座与盖板连接的一侧设置有环形凹槽，盖板嵌入环形凹槽内，盖板与基座之间通过外周环形的焊道和内部阵列的若干个焊点电子束焊接连接。该低成本的不锈钢半导体加热盘结构采用电子束焊接，避免了高温对电加热器绝缘介质的损害，提高了加热盘可靠性与使用寿命；同时，电子束焊接成本更低，能缩短生产周期，提升生产效率；其独特的焊接结构，如环形凹槽配合外周环形焊道与内部阵列焊点，增强了连接强度与整体稳定性；合理的焊点分布确保了加热均匀性，而焊点处圆柱形凸起设计则提高了焊接精度。

今年以来富创精密新获得专利授权28个，较去年同期增加了27.27%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.73亿元，同比增23.53%。

通过天眼查大数据分析，沈阳富创精密设备股份有限公司共对外投资了22家企业，参与招投标项目83次；财产线索方面有商标信息28条，专利信息757条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可55个。

数据来源：天眼查APP

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不锈钢焊点低成本的半导体焊接电子束盖板精密环形专利加热盘

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