博顿光电申请用于光学器件的刻蚀装置专利，加工精度和加工效率高
国家知识产权局信息显示，佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司申请一项名为“用于光学器件的刻蚀装置、方法、设备、介质及程序产品”的专利，公开号CN122267047A，申请日期为2026年3月。
专利摘要显示，本申请涉及线性渐变光学滤波器制备技术领域，本申请提供了用于光学器件的刻蚀装置、方法、设备、介质及程序产品，该刻蚀装置包括：离子源，提供用于刻蚀的离子束；真空腔室，提供真空环境；工作台，设置于真空腔室；控制组件，分别连接于离子源和工作台；工作台包括多组加工区域，用于分别设置多组光学材料；控制组件通过控制工作台相对离子源进行移动，用于使离子束相对于各组加工区域按照预设速度分布和预设加速度分布进行扫描，实现各组光学材料的渐变刻蚀。本申请实施例可以适用于具有渐变结构的大尺寸光学器件的加工，且加工精度和加工效率高，并适用于该类光学器件的批量生产。
天眼查资料显示，佛山市博顿光电科技有限公司，成立于2020年，位于佛山市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，佛山市博顿光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目22次，专利信息142条，此外企业还拥有行政许可11个。
中山市博顿光电科技有限公司，成立于2016年，位于中山市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本870.3913万人民币。通过天眼查大数据分析，中山市博顿光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息21条，专利信息183条，此外企业还拥有行政许可19个。
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来源：市场资讯
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