苏州晶晟微纳申请MEMS探针电阻测量装置专利，提高测试精度
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2026-06-26 20:18:14
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国家知识产权局信息显示，苏州晶晟微纳半导体科技有限公司申请一项名为“一种MEMS探针电阻测量装置”的专利，公开号CN122283242A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本发明公开了一种MEMS探针电阻测量装置，包括：探针本体、导电晶圆、线路连接组件和源表；线路连接组件包括与各探针对应设置的电路转接线和电控开关；探针的一端抵接在导电晶圆上，另一端与电路转接线电连接，电路转接线的另一端与电控开关的动触点端电连接，电控开关的静触点端与源表的接线端组连接；当探针本体为待测电阻探针时，与待测电阻探针对应的电控开关的控制信号接正接线端组信号，其余电控开关的控制信号均为接负接线端组信号，完成对待测电阻探针的电阻测试。本发明通过使用导电晶圆，模拟实际测试的环境，结合开尔文四线法能够准确测量MEMS探针电阻，降低测试误差，提高测试精度。
天眼查资料显示，苏州晶晟微纳半导体科技有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州晶晟微纳半导体科技有限公司参与招投标项目13次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息40条，此外企业还拥有行政许可12个。
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来源：市场资讯
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