富乐德申请半导体制造用石英炉管无损清洗方法专利，有效降低腐蚀风险
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2026-08-13 11:35:21
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国家知识产权局信息显示，安徽富乐德科技发展股份有限公司申请一项名为“一种半导体制造用石英炉管无损清洗方法”的专利，公开号CN122538496A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种名为半导体制造用石英炉管无损清洗方法的清洗方法，该方法包括：依次进行预处理采用纯水冲洗去除松散颗粒和浮尘；然后进行三级化学清洗，第一级采用硝氟酸清洗液去除氧化膜，第二级采用盐酸过氧化氢清洗液去除铜等金属污染，第三级采用硝酸清洗液去除残余金属污染；每级化学清洗之间设置充分的纯水冲洗和纯水浸泡以去除化学残留；干燥处理后进行荧光缺陷检测和颗粒检测的双重质量检测；最后进行双重真空包装。通过采用上述技术方案，本申请能够实现针对不同类型沉积物和污染物的分层协同高效去除，防止化学残留造成二次污染，有效降低腐蚀风险，延长石英炉管使用寿命。
天眼查资料显示，安徽富乐德科技发展股份有限公司，成立于2017年，位于铜陵市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本74318.7598万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽富乐德科技发展股份有限公司共对外投资了15家企业，参与招投标项目41次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息108条，此外企业还拥有行政许可49个。
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