卡尔蔡司显微镜申请粒子束装置及其方法专利，使用两个不同的检测器来生成二次电子图像和背散射电子图像
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2026-08-13 11:59:47
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国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司显微镜有限责任公司申请一项名为“粒子束装置及其方法”的专利，公开号CN122552405A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，一种用于使用粒子束装置（3）检查物体的方法，该方法包括产生静电场和磁场的配置。磁场是使用磁透镜（41）产生的。电场是在环形电极（39）与物体（9）之间产生的，该环形电极以环状方式围绕磁透镜（41）的对称轴线（49）。物体（9）的表面法线（25）与对称轴线（49）之间的角度β大于20°，因此，这些电场是不对称的。这些不对称电场用于分离具有不同动能的电子的轨迹（53、61、81），为了检测这些轨迹，提供了不同的检测器（63、83）。例如，然后可以使用两个不同的检测器（63、83）来生成二次电子图像和背散射电子图像。
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