北方华创申请工艺腔室及半导体工艺设备专利，能够解决内衬、调整支架及腔室之间密封性差的问题_电池知识

北方华创申请工艺腔室及半导体工艺设备专利，能够解决内衬、调整支架及腔室之间密封性差的问题

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2026-08-29 02:45:36

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，公开号CN122648889A，申请日期为2025年2月。

专利摘要显示，本申请公开了一种工艺腔室及半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种工艺腔室，包括：腔体、内衬、支架和多个调节组件；所述腔体的顶部设有窗口；所述内衬设于所述窗口处，并可相对于所述窗口在水平方向上移动；所述支架设于所述窗口处，并可相对于所述窗口在所述水平方向上移动，且所述支架设于所述内衬上，并与所述内衬连接；多个所述调节组件沿所述腔体的周向设于所述窗口处，每个所述调节组件与所述内衬及所述支架中的至少一者连接，且每个所述调节组件可分别在水平方向上活动，用于带动所述内衬及所述支架中的至少一者在所述水平方向上移动而进行位置调节。本申请至少能够解决内衬、调整支架及腔室之间密封性差的问题。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1493次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5914条，此外企业还拥有行政许可341个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业调整投资华创支架导体工艺调节专利北京腔室内衬工艺腔室窗口处

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