广州增芯申请晶圆薄膜沉积方法及机台专利，提升使用该晶圆形成的电容结构的击穿电压_电池知识

广州增芯申请晶圆薄膜沉积方法及机台专利，提升使用该晶圆形成的电容结构的击穿电压

创始人

2026-09-04 16:53:46

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国家知识产权局信息显示，广州增芯科技有限公司申请一项名为“晶圆的薄膜沉积方法及晶圆的薄膜沉积机台”的专利，公开号CN122687152A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆的薄膜沉积方法及晶圆的薄膜沉积机台，通过在脱汽腔室去除晶圆表面的水汽之后，将晶圆送入冷却处理模块，对晶圆表面进行冷却处理，冷却处理模块包括传输腔室和冷却腔室，晶圆在传输腔室中自然降温第一预设时长后传输至冷却腔室，并在冷却腔室进行冷却降温，将冷却处理后的晶圆送入铝沉积腔室，在铝沉积腔室中，向晶圆表面沉积铝薄膜。因此，在晶圆转移过程中，通过不同温度条件的传输腔室和冷却腔室对晶圆进行降温，然后移动至铝沉积腔室，使得向晶圆表面沉积铝薄膜时，晶圆表面具有更低的温度，从而，本发明形成的铝薄膜更加光滑，提升使用该晶圆形成的电容结构的击穿电压。

天眼查资料显示，广州增芯科技有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本749038.4616万人民币。通过天眼查大数据分析，广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目49次，财产线索方面有商标信息53条，专利信息329条，此外企业还拥有行政许可182个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业方法投资冷却薄膜传输机台电容结构专利腔室铝薄膜晶圆

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