盛吉盛半导体申请用于半导体设备的晶圆定位调整装置及方法专利,完成对晶圆的定位和调整
创始人
2026-01-12 18:10:46
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国家知识产权局信息显示,盛吉盛半导体科技(北京)有限公司申请一项名为“一种用于半导体设备的晶圆定位调整装置及方法”的专利,公开号CN121310947A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明公开一种用于半导体设备的晶圆定位调整装置及方法,其属于半导体设备制造技术领域,用于半导体设备的晶圆定位调整装置包括至少三根升降销,升降销包括真空套,真空套内从上到下依次设有顶针座和铁磁体,顶针座内沿竖直方向设有顶针,顶针顶部用于接触待定位晶圆,顶针座与真空套之间设有铁磁滑动组件,真空套外侧套设有磁性套筒组件,磁性套筒组件下方设有测力传感器,真空套的底部外侧设有磁吸组件。本发明通过磁性套筒组件、测力传感器和铁磁滑动组件配合适用,判断待定位晶圆是否需要进行位置调整,同时通过设置磁吸组件控制铁磁体运动,带动顶针调整待定位晶圆的位置,完成对晶圆的定位和调整。

天眼查资料显示,盛吉盛半导体科技(北京)有限公司,成立于2021年,位于北京市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本28000万人民币。通过天眼查大数据分析,盛吉盛半导体科技(北京)有限公司参与招投标项目28次,专利信息129条,此外企业还拥有行政许可7个。

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来源:市场资讯

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