宁波中车时代传感申请MEMS传感器芯片封装方法专利，提升封装效率
创始人
2026-02-09 08:41:50
0次
国家知识产权局信息显示，宁波中车时代传感技术有限公司申请一项名为“一种MEMS传感器芯片的封装方法”的专利，公开号CN121470430A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种MEMS传感器芯片的封装方法，涉及芯片封装的技术领域，封装方法包括：S1、在上晶圆蚀刻出导气槽和上空腔，导气槽连通于上空腔，导气槽远离上空腔的一端延伸至MEMS传感器芯片的边界；S2、将上晶圆、中晶圆和下晶圆键合，其中，中晶圆设置于上晶圆和下晶圆之间，中晶圆设有叉指结构，下晶圆与中晶圆之间形成有与上空腔对应的下空腔，叉指结构设置于上空腔和下空腔之间；S3、沿MEMS传感器芯片的边界切割MEMS传感器芯片，导气槽与外界连通；S4、通过带真空功能的模具对MEMS传感器芯片真空注塑，塑料填充导气槽；其中，模具的真空度可调节。本发明能够适用于多种真空度的MEMS传感器芯片封装，降低产品封装成本，提升封装效率。
天眼查资料显示，宁波中车时代传感技术有限公司，成立于1992年，位于宁波市，是一家以从事铁路、船舶、航空航天和其他运输设备制造业为主的企业。企业注册资本29678.62万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波中车时代传感技术有限公司参与招投标项目2102次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息485条，此外企业还拥有行政许可9个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
原创 华...
华为的“Tau缩放定律”设计通过堆叠芯片层来提高密度、降低功耗并突破热限制。 华为表示，一种新的垂...
中源电脑取得防脱电脑电源线插头...
国家知识产权局信息显示，广东中源电脑设备有限公司取得一项名为“一种防脱电脑电源线插头及其电脑电源”的...
qCMOS vs. EM-CC...
长期以来，科学成像领域的选型规则相对固定：极弱光实验首选EM-CCD，光子充足的环境则交给sCMOS...
派赛公司申请混合峰值平均电流模...
国家知识产权局信息显示，派赛公司申请一项名为“混合峰值平均电流模式控制”的专利，公开号CN12272...
南方电网数字电网研究院取得量子...
国家知识产权局信息显示，南方电网数字电网研究院股份有限公司取得一项名为“量子电流传感器电-热-磁-力...
玉晶光电取得光学透镜组专利
国家知识产权局信息显示，玉晶光电（厦门）有限公司取得一项名为“光学透镜组”的专利，授权公告号CN11...
浙江嘉康电子申请介质滤波器正极...
国家知识产权局信息显示，浙江嘉康电子股份有限公司申请一项名为“一种用于介质滤波器正极端面图形的质量检...
苏州中科科仪取得磁轴承线圈交直...
国家知识产权局信息显示，苏州中科科仪技术发展有限公司取得一项名为“磁轴承线圈交直流电阻差检测工装、检...
中天科技申请高压海底电缆软接头...
国家知识产权局信息显示，中天科技海缆股份有限公司;江苏中天科技股份有限公司;山东海工线缆有限公司;中...
南亚科技取得硬掩模结构及其应用...
国家知识产权局信息显示，南亚科技股份有限公司取得一项名为“硬掩模结构及其应用于半导体结构的制备方法”...