中镓半导体取得气相外延设备专利，实现对外延层实时在线监测
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2025-06-25 14:38:48
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金融界2025年6月25日消息，国家知识产权局信息显示，东莞市中镓半导体科技有限公司取得一项名为“气相外延设备”的专利，授权公告号CN223017035U，申请日期为2024年07月。
专利摘要显示，本实用新型公开一种气相外延设备，包括外延炉体，所述外延炉体内设有外延腔，所述外延腔内设有原料室、气体喷淋头以及至少一个托盘，所述原料室内设有原料舟，所述托盘设于所述气体喷淋头的下方，所述托盘用于承放用于外延生长的晶片，所述原料舟与所述气体喷淋头连通，所述气体喷淋头用于向所述晶片喷淋反应气体以在所述晶片上生长晶体外延层，所述外延炉体顶部对应所述托盘设有至少一个原位检测装置，所述原位检测装置用于对所述晶体外延层进行实时检测，所述外延炉体对应所述原位检测装置设有窗口，本实用新型通过在外延炉体上设置原位检测装置，从而实现对外延层实时在线监测，可及时获取外延层的生长信息，设计巧妙。
天眼查资料显示，东莞市中镓半导体科技有限公司，成立于2009年，位于东莞市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本13010万人民币。通过天眼查大数据分析，东莞市中镓半导体科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目13次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息209条，此外企业还拥有行政许可7个。
来源：金融界
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