6月27日，青岛思锐智能科技股份有限公司（以下简称“思锐智能”）宣布，其半导体先进装备研发制造中心在青岛自贸片区正式落成并投入生产。中国半导体产业领军人物张汝京、北京超弦存储器研究院执行院长赵超等众多行业大咖到场支持。

图片来源：思锐智能

作为山东省2024年度及2025年度连续两年的重大项目，以及青岛市的重点项目，思锐智能半导体先进装备研发制造中心由思锐智能与青岛城投集团联合打造。该中心总占地约95亩，总建筑面积达8.6万平方米，计划总投资逾12亿元人民币。其核心任务聚焦于原子层沉积镀膜（ALD）和离子注入机（IMP）两大关键半导体前道设备的研发与规模化生产。

该中心的投产，有效填补了青岛市在半导体核心装备领域的空白，标志着青岛在半导体产业自主创新和高端装备制造领域迈出了里程碑式的一步。

思锐智能董事长聂翔强调，该中心不仅仅是一个年产百台设备的生产基地，更是构建“技术-制造-生态”闭环的关键环节，公司将依托此中心加速突破ALD、IMP等关键技术瓶颈，深化在集成电路、功率化合物等领域的战略布局。

资本市场加持：思锐智能估值跃升，A股IPO启动

思锐智能业务的快速发展，离不开其在资本市场的持续赋能与有力支撑。公司于2025年2月成功完成数亿元人民币的B轮及B+轮融资，估值跃升至41亿元人民币。此轮融资获得了包括上汽集团、尚颀资本、鼎晖投资、招商局创投、上海金浦、新鼎资本等在内的多家机构的战略投资。

伴随融资的完成，思锐智能已于2025年2月正式启动A股IPO进程，并已向中国证券监督管理委员会青岛监管局进行辅导备案。据悉，为进一步优化公司治理结构并为后续上市铺平道路，思锐智能已完成股份制改制，正式更名为“青岛思锐智能科技股份有限公司”（原用名“青岛四方思锐智能技术有限公司”）。此外，公司的注册资本也已由约9.5亿元人民币增至约11.2亿元人民币。

公开资料显示，思锐智能由中国中车集团及旗下基金通过深度“产融结合”方式联合发起设立，是一家高科技企业。值得一提的是，官方资料显示，思锐智能是目前国内唯一一家能够同时提供离子注入机和原子层沉积设备，并实现关键技术自主突破的企业。

公司主要聚焦半导体前道工艺设备的研发、生产和销售，旨在提供具有自主可控关键核心技术的系统装备产品和技术服务方案。其ALD和IMP设备广泛应用于集成电路、以功率与化合物为代表的第三代半导体、新能源、光学、生物医学等诸多高精尖领域。

图片来源：思锐智能 图为思锐智能Transform产品

自2018年9月成功收购ALD技术发源地——芬兰倍耐克公司（BENEQ）100%股权以来，思锐智能开启了ALD技术国内外联合研发与本土产业化进程。此后，思锐智能进一步布局IMP设备业务，通过自主研发逐步完成面向硅基及化合物半导体的全系列机型布局，成为国内首家全自主研发、实现工业级量产并通过多家客户量产验证的全系列离子注入机供应商。

公开资料显示，IMP设备是《国家集成电路产业发展推进纲要》要求重点发展的三种设备之一，难度仅次于光刻机，而思锐智能首先研发的便是难度最大的高能离子注入机，已于2023年9月交付国内头部客户。

目前，思锐智能及其子公司BENEQ在全球范围内拥有近480余项专利，在ALD和IMP技术及应用方面积累了雄厚的技术实力。

据悉，思锐智能已成功备案设立国家级博士后科研工作站，成为青岛自贸片区首家国家级博士后科研工作站，这预示着公司在高端人才引进和科技创新方面将迈上新的台阶。

（文/集邦化合物半导体 竹子 整理）