微导纳米申请半导体反应腔及镀膜设备专利，提升镀膜均匀性
国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种半导体反应腔以及半导体镀膜设备”的专利，公开号CN122327185A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体技术领域，公开一种半导体反应腔以及半导体镀膜设备。其中，所述半导体反应腔，包括腔体以及形成于所述腔体内的腔室，在所述腔室内设有喷淋板、加热盘、抽气环以及陶瓷环，其中，在所述喷淋板与所述抽气环之间存在第一部件间隙，在所述加热盘与所述陶瓷环之间存在第二部件间隙，还包括吹气管路，所述吹气管路包括：气体流入管路，设置于所述腔体的侧壁内并与外部气体源连通，用于将来自于所述外部气体源的吹扫气体引入至所述吹气管路；主体吹气管路，设置于所述腔体的侧壁内部，所述主体吹气管路的一端位于所述喷淋板的顶部并与气体流入管路连通用于获取吹扫气体，另一端位于所述陶瓷环的底部；分支吹气管路，一端与所述主体吹气管路连通用于获取吹扫气体，另一端沿所述陶瓷环的底部延伸。
天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目57次，财产线索方面有商标信息89条，专利信息692条，此外企业还拥有行政许可69个。
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来源：市场资讯
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