华虹半导体申请应用于存储器件制作中的工艺方法专利,对第一区域进行刻蚀直至目标区域的衬底暴露
创始人
2026-07-11 23:23:06
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国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司;上海华虹宏力半导体制造有限公司申请一项名为“应用于存储器件制作中的工艺方法”的专利,公开号CN122373348A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,公开了一种工艺方法,包括:在衬底上形成第三多晶硅层,衬底上形成有耦合氧化物层,衬底上用于形成半导体器件的区域包括第一区域和第二区域,第一区域的耦合氧化物层上形成有字线多晶硅,字线多晶硅之间形成有第一多晶硅层和位于其上方的第二多晶硅层,字线多晶硅高于第二多晶硅层的区域被第一隔离层覆盖,第一隔离层之间形成有牺牲薄膜层,第一隔离层和牺牲薄膜层上形成有第二隔离层;进行刻蚀,去除第一区域的第三多晶硅层和第二隔离层,以及第二区域中目标区域的第三多晶硅层和耦合氧化物层;对第一区域进行干法刻蚀,去除牺牲薄膜层;在第二隔离层的周侧和逻辑器件的栅极的周侧形成保护层;对第一区域进行刻蚀,直至目标区域的衬底暴露。

天眼查资料显示,华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2950次,专利信息2073条,此外企业还拥有行政许可119个。

上海华虹宏力半导体制造有限公司,成立于2013年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2046092.7759万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华虹宏力半导体制造有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目921次,财产线索方面有商标信息39条,专利信息7858条,此外企业还拥有行政许可461个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

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