北方华创申请炉体结构和半导体工艺设备专利，使得加热丝变形小且不易塌陷
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2025-07-17 16:10:14
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金融界2025年7月17日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“炉体结构和半导体工艺设备”的专利，公开号CN120313356A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，本发明提供一种炉体结构和半导体工艺设备，该炉体结构包括至少一个炉体单元，每个炉体单元均包括保温支撑主体和绝缘支撑结构，其中，保温支撑主体呈环状，且将绝缘支撑结构限位固定于保温支撑主体的内周侧；绝缘支撑结构用于将加热丝限位固定于保温支撑主体所围空间中，加热丝包括首尾串接的多个弧形分段，多个弧形分段均沿保温支撑主体的周向延伸设置，且首尾串接构成柱状螺旋结构，绝缘支撑结构被设置为将各相邻的弧形分段绝缘隔离。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1093次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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