北方华创取得应用于半导体设备的自动补液系统专利，提高半导体工艺设备的工作效率及液体反应源的洁净度
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2025-07-27 00:09:27
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金融界2025年7月26日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“应用于半导体设备的自动补液系统及半导体设备”的专利，授权公告号CN223144664U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种应用于半导体设备的自动补液系统及半导体设备，该系统包括：源瓶、源补给端和气压调节机构；所源瓶包括进气端、出气端和补液端；源瓶的进气端与载气注入管路连接，源瓶的出气端用于与反应腔室连通，源瓶用于盛放液体反应源，并向反应腔室提供气态的反应源；源补给端与源瓶的补液端连通，源补给端用于为源瓶提供液体反应源；气压调节机构用于在需要对源瓶进行补液时调节源瓶的气压，使源瓶内的气压低于源补给端的气压，以使源补给端的液体反应源能够被吸入源瓶内。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1096次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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