北方华创申请聚焦环电压控制相关专利，不断减小实际电压与目标电压的偏差
创始人
2025-08-02 18:11:14
0次
金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“聚焦环电压控制方法、装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120413399A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明提供一种聚焦环电压控制方法、装置及半导体工艺设备，该方法包括：响应于向下电极加载射频信号的控制指令，基于采样周期执行采样流程；每一个采样周期中包括依次执行的采样阶段和施加阶段；在采样阶段控制用于向聚焦环加载电压的直流电源关闭，并对聚焦环的电压进行采样，获得采样电压，且根据采样电压获得目标电压；在施加阶段控制直流电源向聚焦环加载的电压等于目标电压；采集聚焦环的实际电压，比较实际电压与目标电压；根据比较结果调节并更新目标电压，在当前采样周期的施加阶段或下一采样周期的施加阶段，控制直流电源向聚焦环加载的电压等于更新后的目标电压。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1105次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
中天精装参投企业拟间接收购中国...
每经记者｜王帆 每经编辑｜陈俊杰 并购重组 中天精装：参投企业拟间接收购中国高科控制权 中天精装公...
创业板又一单未盈利IPO来了！...
就在创业板首家未盈利IPO深圳大普微电子股份有限公司（下称“大普微”）下周即将上会之际，创业板近日又...
A股，重磅来袭！芯片，大消息！...
01 国常会重要部署 国务院总理李强12月19日主持召开国务院常务会议，对贯彻落实中央经济工作会议...
芯片上“种” 出心和脑！武大团...
极目新闻记者 张静娴 一块小小的透明盒子里，一颗由人类细胞组成的“微型心脏”正在有规律地搏动，旁边，...
中航光电：毛利率下降因业务结构...
证券之星消息，中航光电(002179)12月21日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者提...
民德电子：目前晶圆厂处于满产状...
每经AI快讯，12月21日，民德电子发布投资者关系活动记录表称，2025年，功率半导体晶圆代工厂广芯...
恒生电子中标：兴业基金关于直销...
证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，根据兴业基金管理有限公司12月18日发布的《兴业基...
原创 美...
美国退役军官兰特·斯特威特曾直言不讳地表示，歼-16D是美国海军的梦魇。这句话不仅是承认中国技术的进...
2026人教版高中日语必修一电...
为了帮助高中生自主预习与有效复习，我们整理了2026新教材人教版高中日语必修一电子课本，教材突出跨学...
vivo X200T再曝，天玑...
按照惯例，vivo每年会带来vivo X系列旗舰的更新迭代，并为该系列产品推出多种不同定位的机型。 ...