北方华创申请聚焦环电压控制相关专利，不断减小实际电压与目标电压的偏差
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2025-08-02 18:11:14
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金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“聚焦环电压控制方法、装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120413399A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明提供一种聚焦环电压控制方法、装置及半导体工艺设备，该方法包括：响应于向下电极加载射频信号的控制指令，基于采样周期执行采样流程；每一个采样周期中包括依次执行的采样阶段和施加阶段；在采样阶段控制用于向聚焦环加载电压的直流电源关闭，并对聚焦环的电压进行采样，获得采样电压，且根据采样电压获得目标电压；在施加阶段控制直流电源向聚焦环加载的电压等于目标电压；采集聚焦环的实际电压，比较实际电压与目标电压；根据比较结果调节并更新目标电压，在当前采样周期的施加阶段或下一采样周期的施加阶段，控制直流电源向聚焦环加载的电压等于更新后的目标电压。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1105次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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