芯联集成获得发明专利授权：“一种MEMS器件及其制备方法、电子装置”
创始人
2025-11-09 04:35:06
0次
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS器件及其制备方法、电子装置”，专利申请号为CN202211694847.5，授权日为2025年11月7日。
专利摘要：本发明提供一种MEMS器件及其制备方法、电子装置，所述方法包括：提供基底，在基底上形成有第一牺牲层，在第一牺牲层上形成有振膜，在振膜上形成有第二牺牲层；在第二牺牲层上形成界面层；在第二牺牲层和界面层上形成第三牺牲层；在第三牺牲层上形成背板层，背板层中形成有释放孔；去除部分第二牺牲层和部分第三牺牲层，以形成空腔，使部分背板层悬置于振膜上方；在基底的第二表面形成背腔。本发明的方法通过设置界面层，在刻蚀时减少对于界面处材料的刻蚀损伤，从而改善界面性质，进而减少界面处裂缝。
今年以来芯联集成新获得专利授权62个，较去年同期减少了3.12%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了9.64亿元，同比增10.93%。
通过天眼查大数据分析，芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了19家企业，参与招投标项目1712次；财产线索方面有商标信息16条，专利信息763条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可43个。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
相关内容
热门资讯
中微公司公布国际专利申请：“半...
证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）公布了一项国际专利申请，专利名为“半导体处理...
杰华特获得发明专利授权：“开关...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示杰华特（688141）新获得一项发明专利授权，专利名为“开关电...
长安汽车获得发明专利授权：“语...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示长安汽车（000625）新获得一项发明专利授权，专利名为“语音...
每周股票复盘：博敏电子（603...
截至2025年11月7日收盘，博敏电子（603936）报收于11.68元，较上周的11.86元下跌1...
得润电子获得发明专利授权：“端...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示得润电子（002055）新获得一项发明专利授权，专利名为“端子...
海康威视获得发明专利授权：“感...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示海康威视（002415）新获得一项发明专利授权，专利名为“感知...
芯联集成获得发明专利授权：“一...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种...
每周股票复盘：科思科技（688...
截至2025年11月7日收盘，科思科技（688788）报收于65.94元，较上周的66.84元下跌1...
每周股票复盘：春秋电子（603...
截至2025年11月7日收盘，春秋电子（603890）报收于16.4元，较上周的15.08元上涨8....
原创 一...
近几年来，国内电商平台的补贴大战，让果粉普遍养成了“不降价不下单”的好习惯。 新机不打个 8 折 ，...