昂坤半导体申请用于晶圆测量的位姿调节装置专利，提升晶圆测量的检测精度
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2025-12-08 12:08:04
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国家知识产权局信息显示，杭州昂坤半导体设备有限公司申请一项名为“一种用于晶圆测量的位姿调节装置”的专利，公开号CN121075985A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种用于晶圆测量的位姿调节装置，该装置用于对夹持有目标晶圆的治具进行调节，包括：第一支撑机构，包括第一V型结构件，用于对第一定位件进行定位与支撑，以确定半封闭治具的基准点；第二支撑机构，包括第一导向件及滑设于第一导向件内的第二V型结构件，用于对第二定位件进行定位与支撑，以及用于调节的第一调节组件与第二调节组件；第三支撑机构，包括第二导向件及滑设于第二导向件内的第三V型结构件，用于对第三定位件进行定位与支撑，以及用于调节的第三调节组件与第四调节组件。本发明能够对设备主体内的目标晶圆进行位姿调整，从而提升晶圆测量的检测效率与检测精度。
天眼查资料显示，杭州昂坤半导体设备有限公司，成立于2021年，位于杭州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本30000万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州昂坤半导体设备有限公司专利信息13条。
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来源：市场资讯
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