悦匠实业取得用于半导体真空设备的快速检漏工具专利，实现半导体真空设备各个部件的快速检漏_电池资讯

悦匠实业取得用于半导体真空设备的快速检漏工具专利，实现半导体真空设备各个部件的快速检漏

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2026-01-01 15:16:47

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国家知识产权局信息显示，上海悦匠实业有限公司取得一项名为“一种用于半导体真空设备的快速检漏工具”的专利，授权公告号CN223741883U，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种用于半导体真空设备的快速检漏工具，包括检漏盘，所述检漏盘呈圆盘状，具有第一端面和第二端面，所述第一端面与所述刀口法兰匹配，用以连接所述刀口法兰，所述第一端面设置有密封槽，所述密封槽为圆环形槽，所述密封槽的中心与所述检漏盘的中心重合，所述密封槽中可设置密封圈；所述第二端面用以连接氦检仪，所述检漏盘的中心设置有贯通的联通孔，所述第二端面在所述联通孔的外周设置有与所述氦检仪的检测接口匹配的连接槽，所述连接槽与所述氦检仪的检测接口连接时，所述检测接口连接的管路与所述联通孔连通。采用本实用新型提供的用于半导体真空设备的快速检漏工具，实现半导体真空设备各个部件的快速检漏。

天眼查资料显示，上海悦匠实业有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3500万人民币。通过天眼查大数据分析，上海悦匠实业有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息25条，专利信息46条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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