华丞电子申请射频电源及半导体工艺设备专利，输出的脉冲射频功率更加稳定
创始人
2026-02-05 21:42:26
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国家知识产权局信息显示，北京华丞电子有限公司申请一项名为“射频电源及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121461934A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请公开了一种射频电源及半导体工艺设备。其中，该射频电源包括：直流电源模块用于根据电压控制信号将输入的交流电压转换为直流电压；射频模块用于根据驱动信号将直流电压转换为脉冲射频功率并输出；控制模块用于根据设定脉冲功率、设定占空比和设定脉冲频率，生成电压控制信号和驱动信号，根据脉冲射频功率获取对应的实际反射功率系数和/或实际平均功率，并与设定参数比较以调节电压控制信号和/或驱动信号的相位差。本申请的射频电源动态响应性能较好，可以根据具体使用环境实时调整输出的脉冲射频功率，且输出的脉冲射频功率更加稳定。
天眼查资料显示，北京华丞电子有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本2090.584311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京华丞电子有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目127次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息268条，此外企业还拥有行政许可46个。
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来源：市场资讯
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