中微公司获得发明专利授权：“形成耐腐蚀涂层的方法、半导体零部件及等离子处理装置”
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2026-03-18 09:51:25
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“形成耐腐蚀涂层的方法、半导体零部件及等离子处理装置”，专利申请号为CN202011516689.5，授权日为2026年3月17日。
专利摘要：一种形成耐腐蚀涂层的方法、半导体零部件及等离子处理装置，形成耐腐蚀涂层的方法包括：提供零部件本体；将所述零部件本体置于一电解槽内进行电化学反应，所述电解槽内的电解液包括氢离子和钇离子，在所述零部件本体的表面形成耐腐蚀涂层，所述耐腐蚀涂层包括钇铝氧化合物涂层；对所述钇铝氧化合物涂层进行封孔处理，形成结晶的钇铝氧化合物涂层。所述耐腐蚀涂层耐受等离子腐蚀的能力较强。
今年以来中微公司新获得专利授权31个，较去年同期减少了16.22%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。
通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1664条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。
数据来源：天眼查APP
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