细美事取得基板输送模组及半导体制造设备专利
创始人
2026-03-26 16:28:14
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国家知识产权局信息显示，细美事有限公司取得一项名为“基板输送模组以及具备其的半导体制造设备”的专利，授权公告号CN116313953B，申请日期为2022年11月。

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