苏州中瑞宏芯半导体申请半导体芯片制造基板处理设备专利，提升了清洗效果_电池资讯

苏州中瑞宏芯半导体申请半导体芯片制造基板处理设备专利，提升了清洗效果

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2026-04-13 15:46:18

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国家知识产权局信息显示，苏州中瑞宏芯半导体有限公司申请一项名为“一种半导体芯片制造基板处理设备”的专利，公开号CN121843539A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本发明公开了一种半导体芯片制造基板处理设备，包括清洗箱，和位于清洗箱内的芯板承载机构，所述芯板承载机构包括托板，和与托板滑动连接的第一固定板，所述第一固定板顶面与第二固定板固定粘接，所述第二固定板顶面铰接有承载板，所述第一固定板和第二固定板相对的一面开设有集气槽，所述第一固定板和第二固定板两者内的集气槽围合形成集气腔，所述集气腔内设置有活塞板，所述活塞板的顶面一体成型有顶杆，所述顶杆顶端贯穿第二固定板并与承载板底面相接触。本发明设有驱动机构，驱动机构可以带动芯板承载机构在清洗箱内水平移动，这样芯板承载机构上的芯板可以与电极板相对位置发生变化，确保芯板与活性粒子接触均匀，提升了清洗效果。

天眼查资料显示，苏州中瑞宏芯半导体有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本963.8797万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州中瑞宏芯半导体有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息64条，此外企业还拥有行政许可7个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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