华微电子获得实用新型专利授权：“一种高压测试吸盘”
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2026-07-17 20:27:23
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华微电子（600360）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种高压测试吸盘”，专利申请号为CN202520947483.X，授权日为2026年7月17日。
专利摘要：本实用新型提出一种高压测试吸盘，涉及半导体晶圆测试技术领域，与晶圆、真空泵和气泵配合使用，包括上腔体和下腔体，所述上腔体与下腔体通过方形卡扣卡接固定，所述上腔体与气泵通过柔性管路固定连接，所述下腔体通过柔性管路与真空泵固定连接，上下两套腔体可以组合使用，在不测试高压产品时可以单独使用下腔体，下腔体和上腔体之间设计的卡扣是方形的，连接后不会因吹气发生水平方向旋转，上腔体内壁设有小孔，氮气从腔体内壁侧向喷洒到晶圆表面，形成保护气膜，保护气体是采用氮气携带电子氟化液形成组合保护气体，解决氟化液喷洒不均的问题，杜绝晶圆因受力不均翘边及飞片现象，提高了晶圆测试成品率。
今年以来华微电子新获得专利授权21个，较去年同期减少了19.23%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.37亿元，同比增9.47%。
通过天眼查大数据分析，吉林华微电子股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目166次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息292条，著作权信息6条；此外企业还拥有行政许可21个。
数据来源：天眼查APP
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