桑迪士克申请包含分体式支撑柱结构的三维存储器设备及其制造方法专利，一种存储器设备包括绝缘层和导电层的一对交替堆叠
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2025-07-16 09:39:55
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金融界2025年7月16日消息，国家知识产权局信息显示，桑迪士克科技股份有限公司申请一项名为“包含分体式支撑柱结构的三维存储器设备及其制造方法”的专利，公开号CN120323098A，申请日期为2024年05月。

专利摘要显示，一种存储器设备包括绝缘层和导电层的一对交替堆叠；存储器开口，该存储器开口竖直延伸穿过该一对交替堆叠中的相应一者；存储器开口填充结构，该存储器开口填充结构位于该存储器开口中；横向隔离沟槽填充结构，该横向隔离沟槽填充结构位于该一对交替堆叠之间的横向隔离沟槽中；以及支撑柱结构，该支撑柱结构竖直延伸穿过该一对交替堆叠中的相应一者。该支撑柱结构包括第一类型支撑柱结构和辅助支撑柱结构，该第一类型支撑柱结构各自具有相应圆形或椭圆形水平截面形状，该辅助支撑柱结构各自具有圆形或椭圆形的扇形区的水平截面形状并且具有平面竖直延伸表面。

来源：金融界

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