英仕博精密装备取得半导体刻蚀设备气体供应系统专利，尽量避免气体供应过程中存在杂质而影响到半导体刻蚀的情况发生
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2025-06-26 16:10:28
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金融界2025年6月26日消息，国家知识产权局信息显示，合肥英仕博精密装备有限公司取得一项名为“一种半导体刻蚀设备气体供应系统”的专利，授权公告号CN223023217U，申请日期为2024年03月。
专利摘要显示，本实用新型公开了半导体刻蚀设备技术领域的一种半导体刻蚀设备气体供应系统，包括半导体刻蚀设备，所述半导体刻蚀设备的顶部安装有半导体刻蚀仓，所述半导体刻蚀仓的顶部安装有安装箱，所述安装箱的内部上方安装有连接管道，其结构合理，本实用新型通过设有T型槽和L型卡板，将半导体刻蚀仓与安装箱之间设置空气过滤板A，并将空气过滤板B以滑动的方式放置在T型槽内，空气过滤板C以滑动的方式推入两组L型卡板之间，使供气管道对半导体刻蚀仓内采取正常供气处理时，可由空气过滤板A、空气过滤板B和空气过滤板C进行气体过滤处理，尽量避免气体供应过程中存在杂质而影响到半导体刻蚀的情况发生。
天眼查资料显示，合肥英仕博精密装备有限公司，成立于2021年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1133.78万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥英仕博精密装备有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息47条，此外企业还拥有行政许可4个。
来源：金融界
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