华丞电子申请静电卡盘电源专利，避免静电卡盘电源短路及静电卡盘损毁
创始人
2026-01-28 18:47:02
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国家知识产权局信息显示，北京华丞电子有限公司申请一项名为“一种静电卡盘电源和半导体工艺设备”的专利，公开号CN121395866A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种静电卡盘电源和半导体工艺设备，包括电压控制电路、互锁电路、第一开关至第四开关，电压控制电路输出第一电压、第二电压、第一控制信号和第二控制信号，互锁电路根据第一控制信号和第二控制信号，生成第一开关信号至第四开关信号，用于控制第一开关输出第一电压、第四开关输出第二电压，或者，控制第二开关输出第一电压、第三开关输出第二电压，或者，控制第一开关和第二开关分别输出第一电压，或者，控制第三开关和第四开关分别输出第二电压，并控制第一开关和第三开关不同时输出以及第二开关和第四开关不同时输出，以通过单台静电卡盘电源实现四种电压组合的输出的同时，避免静电卡盘电源短路及静电卡盘损毁的问题。
天眼查资料显示，北京华丞电子有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本2090.584311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京华丞电子有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目127次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息260条，此外企业还拥有行政许可46个。
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来源：市场资讯
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