正阳融合申请多介质切换半导体喷淋设备专利，实现高效清洁与工艺处理
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2026-02-04 13:47:59
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国家知识产权局信息显示，正阳融合微电子技术（珠海）有限公司申请一项名为“一种多介质切换的半导体喷淋设备”的专利，公开号CN121443042A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明提供了一种多介质切换的半导体喷淋设备，包括密封机体，所述密封机体的中部设置有预载安装板，所述预载安装板将所述密封机体分隔为位于上部的入料层和位于下部的喷淋层，所述预载安装板的外侧设置有入料移栽机构，所述预载安装板上设置有旋转对中对位机构，所述喷淋层内对应所述旋转对中对位机构设置有多介质切换喷淋装置，所述多介质切换喷淋装置包括升降旋转治具及清洁机构、外罩于所述升降旋转治具及清洁机构外部的喷淋腔体、均匀分布于所述喷淋腔体四周的若干气液喷淋模块、间隔设置于每两个所述气液喷淋模块之间的工艺化学液喷淋机构以及升降套设于所述喷淋腔体内的洁净空气导入机构。本发明涉及半导体喷淋设备技术领域。
天眼查资料显示，正阳融合微电子技术（珠海）有限公司，成立于2023年，位于珠海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，正阳融合微电子技术（珠海）有限公司参与招投标项目2次，专利信息15条，此外企业还拥有行政许可2个。
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