芯微特半导体申请用于半导体清洗的磁力传动装置专利，避免颗粒污染物产生，造成晶圆受污染
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2026-03-17 02:52:39
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国家知识产权局信息显示，芯微特半导体科技（江苏）有限公司申请一项名为“一种用于半导体清洗的磁力传动装置”的专利，公开号CN121663937A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种用于半导体清洗的磁力传动装置，涉及半导体清洗技术领域，包括磁力传动机构，所述磁力传动机构上设置有辅助机构，所述磁力传动机构包括磁悬浮电机，所述磁悬浮电机的内部设置有主轴，每个所述L形架的表面均设置有磁铁驱动器，所述第一安装环的顶部加装有晶圆卡盘，每个所述磁铁驱动器的顶部均磁吸有主磁铁，本发明通过设置新的磁力传动机构，可以避免颗粒污染物产生，造成晶圆受污染，同时可以避免药液渗入传动机构，造成硬件锈蚀，污染腔体。
天眼查资料显示，芯微特半导体科技（江苏）有限公司，成立于2023年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，芯微特半导体科技（江苏）有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息4条，此外企业还拥有行政许可3个。
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来源：市场资讯
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