朗姆研究申请用于化学气相沉积期间瞬时表面保护的甲醛共聚物专利,保护半导体衬底表面
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2025-07-14 11:39:32
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金融界2025年7月14日消息,国家知识产权局信息显示,朗姆研究公司申请一项名为“用于化学气相沉积期间的瞬时表面保护的甲醛共聚物”的专利,公开号CN120303768A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本公开内容涉及通过在表面涂覆刺激响应聚合物层来保护半导体衬底表面的方法,该刺激响应聚合物层由具有含甲醛主链和增强疏水性和/或降低结晶度的取代基的共聚物组成。

来源:金融界

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