苏州智程半导体申请液路循环加热式晶圆电镀设备专利，提高晶圆电镀效果
创始人
2025-07-21 14:09:03
0次
金融界2025年7月21日消息，国家知识产权局信息显示，苏州智程半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种液路循环加热式晶圆电镀设备”的专利，公开号CN120330845A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明提供了一种液路循环加热式晶圆电镀设备，包括：挂镀槽、溢流槽以及加热槽，挂镀槽具有沿长度方向对称分布的两块溢流板，溢流板的顶端均布若干溢流口，溢流槽围绕挂镀槽设置，加热槽连通于溢流槽的底面，加热槽内设置加热装置；挂镀槽内放置不少于一组的晶圆挂具，电镀液由挂镀槽内通过开设于溢流板顶端的溢流口流动至溢流槽内再流入加热槽内，电镀液于加热槽内经过加热装置的加热后回流至挂镀槽内。本发明通过液路循环的方式以提高电镀液中离子分布均匀性，进而提高晶圆电镀效果。
天眼查资料显示，苏州智程半导体科技股份有限公司，成立于2009年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本7689.6547万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州智程半导体科技股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目143次，财产线索方面有商标信息13条，专利信息216条，此外企业还拥有行政许可6个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
天弘基金祁世超旗下天弘光伏C中...
证券之星消息，7月21日天弘基金旗下祁世超管理的天弘中证光伏产业指数型发起式基金公布中报，近1年净值...
瀚博半导体估值百亿冲刺IPO，...
瑞财经 吴文婷近日，瀚博半导体(上海)股份有限公司（以下简称“瀚博半导体”）启动IPO辅导，辅导机构...
原创 事...
H20芯片刚解禁，国内企业正摩拳擦掌，准备大干一场。 结果国家安全部突然发话：外国芯片可能暗藏“后门...
西安升达申请新型折弯机及使用方...
金融界2025年7月21日消息，国家知识产权局信息显示，西安升达汽车部件股份有限公司申请一项名为“一...
俄军16万兵力强攻波克罗夫斯克...
前线地图显示，俄军已经出现在顿巴斯中线的波克罗夫斯克市东北郊，离市区仅几公里。乌军20日在苏梅方向继...
电科芯片：累计获得授权专利数量...
金融界7月21日消息，有投资者在互动平台向电科芯片提问：董秘您好！贵司作为典型的高科技公司，我有两个...
75后赤峰市委书记唐毅已任内蒙...
据内蒙古自治区工商联官网消息，7月17日，自治区工商联、自治区民营经济发展服务局、赤峰市人民政府在赤...
英杰电气：为瀚海聚能核聚变装置...
金融界7月21日消息，有投资者在互动平台向英杰电气提问：瀚海聚能中国首台商业化核聚变HHMAX-90...
电源设备行业21日主力净流出6...
7月21日，电源设备行业上涨0.87%，今日主力资金流出6.11亿元，成分股19只上涨，13只下跌。...
UDL2数据记录仪,管道阴极保...
UDL2 数据记录仪是一款用于埋地钢质管道阴极保护电位监测的设备，具有以下特点： 测量参数丰富：...