超硅半导体申请用于单晶炉集成罐滤芯清洁装置及方法专利,提高清洁效率和洁净度
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2025-06-21 11:37:27
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金融界2025年6月21日消息,国家知识产权局信息显示,上海超硅半导体股份有限公司;重庆超硅半导体有限公司申请一项名为“用于单晶炉集成罐滤芯的清洁装置及清洁方法”的专利,公开号CN120169728A,申请日期为2025年03月。

专利摘要显示,本发明属于半导体单晶硅棒制备技术领域,公开了一种用于单晶炉集成罐滤芯的清洁装置及清洁方法。其包括清洁箱、旋转机构和喷淋系统,清洁箱具有密闭的清洁腔,清洁腔可开合;旋转机构设置于清洁箱内,旋转机构包括旋转平台,旋转平台用于安装待清洁件,旋转平台能旋转,以带动待清洁件旋转;喷淋系统包括若干个外喷机构和若干个内喷机构,外喷机构和内喷机构均设置于清洁箱内,若干个外喷机构设置于旋转平台的外周,外喷机构用于对待清洁件的外表面进行冲洗;若干个内喷机构设置于旋转平台的内圈,内喷机构用于对待清洁件的内表面进行冲洗;能够提高清洁效率和洁净度,且降低了对环境的污染,降低了对作业人员的危害。

天眼查资料显示,上海超硅半导体股份有限公司,成立于2008年,位于上海市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本117640.3602万人民币。通过天眼查大数据分析,上海超硅半导体股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目24次,财产线索方面有商标信息11条,专利信息234条,此外企业还拥有行政许可192个。

重庆超硅半导体有限公司,成立于2014年,位于重庆市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200000万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆超硅半导体有限公司参与招投标项目21次,专利信息143条,此外企业还拥有行政许可18个。

来源:金融界

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