拓荆科技申请一种双阀体结构的半导体薄膜沉积设备专利，提高生产效率
创始人
2025-06-22 00:37:14
0次
金融界2025年6月21日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆科技（上海）有限公司申请一项名为“一种双阀体结构的半导体薄膜沉积设备”的专利，公开号CN120184057A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明公开了一种双阀体结构的半导体薄膜沉积设备，其包括：多边形的传输模块、工艺模块以及阀体模块；所述传输模块的每个边上均设有一个传输口，每个所述传输口处均设有所述阀体模块，每个所述阀体模块外还连接有一个所述工艺模块；其中，所述阀体模块为双阀体结构，所述双阀体结构分别用于控制与其连接的所述传输口及所述工艺模块的气路。本发明的双阀体结构的半导体薄膜沉积设备，其采用双阀体结构控制传输模块和模块模块之间的气路，当需要增减与传输对接的模块模块时，可选择性断开一侧阀体，从而实现不停机处理，同时适时关闭阀体可保持模块模块内的高温环境环境，减少气体回填及清洗处理处理，提高了生产效率。
天眼查资料显示，拓荆科技（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本143253.79万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆科技（上海）有限公司参与招投标项目20次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息258条，此外企业还拥有行政许可29个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
每周股票复盘：新光光电（688...
截至2025年10月10日收盘，新光光电（688011）报收于38.2元，较上周的35.2元上涨8....
第十届 “创客中国” 高端科学...
在科技创新驱动产业升级的时代浪潮中，高端科学仪器装备与传感器产业作为保障国家战略安全、增进民生福祉的...
从“创客中国”大赛仪器和传感器...
2025年夏，第十届“创客中国”高端科学仪器装备和传感器中小企业创新创业大赛在北京市怀柔区成功举办。...
印巴空战后，西方首次看到霹雳1...
“印巴空战后，西方国家第一次近距离看到中国霹雳-15空空导弹！”按照美国媒体CBS新闻在2025年1...
整机215克，中国电信携三星电...
10月11日，中国电信携手三星电子举办心系天下三星W系列新品发布会，推出新一代高端商务智能手机——心...
亿纬锂能与重明航空签署合作协议...
据亿纬锂能（300014.SZ）官微消息，近日，亿纬锂能与沈阳重明航空科技有限公司（简称“重明航空”...
国星光电获10项国家发明专利授...
近期，国星光电10项发明专利获国家知识产权局授权，覆盖Mini/Micro LED直显与背光、智能感...
2025年最新调研:60Hz变...
2025年全球工业设备跨境流通需求激增，60Hz变50Hz的变压变频电源作为“跨国设备适配核心”，成...
电解电容2200uf能供多久？...
电容供电的基本原理 电解电容通过储存电荷实现电能供应，其容量2200μF代表电荷存储能力。但电容并...