艾克塞利斯申请验证工件对准的系统和方法专利，在离子注入期间传感器可被工件支撑件遮蔽以免受离子束影响
创始人
2026-07-03 14:19:32
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国家知识产权局信息显示，艾克塞利斯科技公司申请一项名为“验证工件对准的系统和方法”的专利，公开号CN122342314A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，公开了一种工件处理系统和方法，用于使用可缩回的传感器确定工件在工件支撑件上的对准。当工件支撑件旋转时，将传感器相对于工件支撑件的边缘移入/移出，以获得位置数据。基于该位置数据，可以确定工件与工件支架的对准。在确定对准之后，可以将传感器缩回在工件支撑件后面，使得传感器在离子注入期间被工件支撑件遮蔽，以免受离子束的影响。使用螺旋运动，可以将传感器与工件支撑件的支撑表面之间的角度在测量期间维持大致恒定。
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