绍兴比亚迪半导体取得一种晶圆结构专利,避免酸液对芯片造成腐蚀
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2025-07-12 17:10:03
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金融界2025年7月12日消息,国家知识产权局信息显示,绍兴比亚迪半导体有限公司取得一项名为“一种晶圆结构”的专利,授权公告号CN223092863U,申请日期为2024年02月。

专利摘要显示,本申请实施例提供了一种晶圆结构晶圆结构包括基底层,所述基底层上设置有至少一个切割道,以将所述基底层分隔出芯片区;所述切割道内设置有阻挡部,所述阻挡部填充至少部分所述切割道。这样,在后续采用酸液进行清洁处理的工艺中,可以采用粘附性较弱的保护膜,例如蓝膜,对晶圆结构的基底层进行包覆,由于阻挡部至少部分填充于切割道,对切割道具有阻挡作用,能够防止酸液从切割道渗入并沿交汇处四散传输至芯片区,避免了酸液对芯片造成腐蚀的问题,改善产品的钻酸情况。无需采用粘附性较强UV膜,避免撕去UV膜时容易粘连在贴膜工具上造成破片,提高了产品的良品率。也无需在较短时间内撕去保护膜,降低工艺要求,减少了生产成本。

天眼查资料显示,绍兴比亚迪半导体有限公司,成立于2022年,位于绍兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,绍兴比亚迪半导体有限公司参与招投标项目12次,专利信息14条,此外企业还拥有行政许可23个。

来源:金融界

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